電子特氣
| 描述 | |||
| 三氟化硼(BF3)是一種無色，具有腐蝕性，不可燃，有毒，有刺激性，窒息性的氣體。在潮濕的空氣中形成致密的煙霧。三氟化硼刺激粘膜。它可溶于水分解形成氟酸?？伤庠诔睗窨諝庵?。三氟化硼作為高壓壓縮氣體運輸。 | |||
| 規格 | |||
| 純度 , % | 99.5 | 99.995 | |
| 氧氣+氮氣+ 氬氣 | ≤10 ppmv | ||
| 二氧化碳 | ≤ 10 ppmv | ||
| 惰性氣體（氧氣+氮氣+二氧化碳） | ≤ 4000 ppm | ||
| 二氧化硫 | ≤ 20 ppm | ≤ 10 ppmv | |
| 四氟化硅 | ≤ 300 ppm | ≤3 ppmv | |
| 水分 | ≤ 0.3 % | ||
| 運輸 | |||
| DOT 運輸名稱 | 三氟化硼，壓縮的 |
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| DOT 分類 | 2.3 | ||
| DOT 標簽 | 毒氣/ 吸入危害 | ||
| UN NO. | UN1008 | ||
| CAS NO. | 7637/7/2 | ||
| CGA/DISS/JIS/DIN477 | 330/642/W22-14L/NO.8 | ||
| 運輸狀態 | 壓縮氣體 | ||
| 技術信息 | |||
| 鋼瓶狀況 @ 21.1°C | 氣體 | ||
| 在空氣中的燃燒極限 | 不可燃 | ||
| 自燃溫度 (°C ) | - | ||
| 分子量 ( g/mol ) | 67.805 | ||
| 比重 ( 空氣 =1) | 2.32 | ||
| 臨界溫度 ( °C ) | -12.25 | ||
| 臨界壓力 ( psig ) | 708.32 | ||
| 應用 | |||
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-在半導體制造中，三氯化硼是用于在硅片上的P型擴散； -離子注入； |
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